UV,DUV,EUV在集成电路中是什么意思？目前只知道是和光刻中光源有关啊
答案:2 悬赏:0 手机版
解决时间 2021-03-06 21:40
- 提问者网友：动次大次蹦擦擦
- 2021-03-06 04:25
UV,DUV,EUV在集成电路中是什么意思？目前只知道是和光刻中光源有关啊
最佳答案
- 五星知识达人网友：北方的南先生
- 2021-03-06 04:49
UV：紫外光简称，365nm
DUV：深紫外，248nm，193nm
EUV：电子束
DUV：深紫外，248nm，193nm
EUV：电子束
全部回答
- 1楼网友：纵马山川剑自提
- 2021-03-06 05:58
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