angstrom磁控溅射设备怎么样
答案:2 悬赏:0 手机版
解决时间 2021-03-14 23:56
- 提问者网友：沦陷
- 2021-03-14 13:50
angstrom磁控溅射设备怎么样
最佳答案
- 五星知识达人网友：骨子里都是戏
- 2021-03-14 14:40
磁控溅射是物理气相沉积（PhysicalVaporDeposition，PVD）的一种。
一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。
因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。
磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。
因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。
磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
全部回答
- 1楼网友：几近狂妄
- 2021-03-14 15:29
额
我要举报
如以上回答内容为低俗、色情、不良、暴力、侵权、涉及违法等信息，可以点下面链接进行举报！
点此我要举报以上问答信息
大家都在看
推荐资讯