请高手指点光学真空镀膜中霍尔离子源的问题
答案:2 悬赏:50 手机版
解决时间 2021-11-07 22:57
- 提问者网友：人傍凄凉立暮秋
- 2021-11-07 09:01
请高手指点光学真空镀膜中霍尔离子源的问题
最佳答案
- 五星知识达人网友：廢物販賣機
- 2021-11-07 10:33
找厂家或者找专业工艺和维修公司。
我们是提供技术服务和支持的公司。
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全部回答
- 1楼网友：琴狂剑也妄
- 2021-11-07 11:51
应该不是气体流量不稳定，而是你的离子源打火导致气体量不稳定。从新清洁离子源找出打火的原因应该可以解决问题，希望对你有用！追问已经检查过了，不是离子源打火，只有在刚开始镀膜的几秒钟之内阳极电流会降低，然后慢慢升高，大约12秒后恢复到设定值，镀每一层都这样。
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