反应离子蚀刻 和rie的区别
答案:1 悬赏:50 手机版
解决时间 2021-01-29 01:18
- 提问者网友：愿为果
- 2021-01-28 15:49
反应离子蚀刻 和rie的区别
最佳答案
- 五星知识达人网友：封刀令
- 2021-01-28 17:19
二者是一回事儿。 RIE，全称是Reactive Ion Etching，反应离子刻蚀，一种微电子干法腐蚀工艺。
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