真空多弧离子镀膜机偏压
答案:2 悬赏:10 手机版
解决时间 2021-01-31 06:43
- 提问者网友:佞臣
- 2021-01-30 18:44
有两个旋转的按钮 都是干嘛用的
最佳答案
- 五星知识达人网友:玩世
- 2021-01-30 18:59
一个调节电压,一个调节百分比
全部回答
- 1楼网友:拜訪者
- 2021-01-30 20:01
离子镀膜其实是离子溅射镀膜,
对于导电靶材,使用直流偏压电源;非导电靶材,使用脉冲偏压电源。
你这个多弧离子镀膜机,可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源
偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场,一般是阴极加负高压。阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射,发射电子轰击气体分子,使之电离,并且气体被驱出的电子被电场加速,继续电离其他气体分子,连续不断,形成雪崩效应,气体被击穿,形成恒定的电离电流。此时离子也被加速,轰击靶材,将靶材中的原子驱除出表面,并沉积在样品表面。
电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器,靠电弧加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速撞击。
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