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晶格常数与热膨胀系数对异质半导体薄膜外延生长有何影响

答案:2  悬赏:0  手机版
解决时间 2021-02-08 17:54
  • 提问者网友:不要迷恋哥
  • 2021-02-08 06:08
晶格常数与热膨胀系数对异质半导体薄膜外延生长有何影响
最佳答案
  • 五星知识达人网友:渊鱼
  • 2021-02-08 07:35
外延:是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。 同质外延:生长外延层和衬底是同一种材料,这种工艺就是同质外延;这类工艺简单,但成本较高。 异质外延:外延生长的薄膜材料和衬底材料不同
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  • 1楼网友:猎心人
  • 2021-02-08 08:41
同问。。。
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