谁知道MOS工艺的基本流程?

谁知道MOS工艺的基本流程?

MOS场效应管的制作流程。。。你要这个干嘛。。。砸给你 接好了!??1.将硅单晶切成大圆片，并加以研磨、抛光。??2.抛光后的片子经仔细清洗后，热生长一层二氧化硅层。(一次氧化)??3.用光刻技术可除漏、源扩散窗口上的二氧化硅。(一次光刻)??4.进行选择性的杂质扩散。??5.去处所有二氧化硅，重新生长一层质量良好的栅极二氧化硅层，并进行磷处理。(二次氧化+磷处理)??6.刻除漏、源引线窗口上的二氧化硅。(二次光刻)??7.在真空系统中蒸发铝。(铝蒸发)??8.反刻电极。??9.进行合金。??10.检出性能良好的管芯，烧焊在管座上，键合引线。??11.监察质量(中测)??12.封上管帽，喷漆。??13.总测。??14.打印，包装。

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