si工艺和化合物工艺哪个遭受高

si工艺和化合物工艺哪个遭受高

硅片等级：
MG-Si → SeG-Si → SoG-Si
提炼要经程：
石英砂→冶金级硅→提炼精炼→沉积晶硅锭→单晶硅→硅片切割

冶金级硅MG-Si
提炼硅原始材料SiO2主要砂目前采用SiO2结晶岩即石灰岩型电弧炉用碳原：SiO2+2C→Si+2CO
定期倒炉用氧气、氧氯混合气体提纯倒入浅槽槽凝固随捣块状

MG-Si提纯SeG-Si
提炼标准：西门工
MG-Si转变挥发性化合物接着采用馏其冷凝提纯
工艺程序：用Hcl细碎MG-Si变流体
使用催化剂加速反应进行：Si+3Hcl→SiHcl3+H2
MG-Si →SiHcl3 硅胶工业原材料
提取MG-Si加热混合气体使SiHcl3 H2原硅细晶粒晶硅形沉积电加热棒右：SiHcl3+H2 →Si+3Hcl

SeG-Si提纯SoG-Si
SeG-Si晶硅熔融同加入器件所需微量参杂剂通采用硼（P型参杂剂）
温度精细控制情况用籽晶能够熔融硅拉圆柱形单晶硅棒直径125cm度1~2m

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