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磁控溅射看靶功率好还是靶电流密度

答案:2  悬赏:70  手机版
解决时间 2021-02-21 00:46
  • 提问者网友:相思似海深
  • 2021-02-20 14:32
磁控溅射看靶功率好还是靶电流密度
最佳答案
  • 五星知识达人网友:底特律间谍
  • 2021-02-20 15:26
电压电流直接相乘。
另外,一般直流磁控溅射的电源散热量比较大,真正的使用效率只有40%,算是比较好的。国内最好的还是要属珠海的。
用电总功率是指的接入电源之前的电压乘电流,外接功率表就好。
实际功率为靶材的电压乘电流。并非显示数据。需要实际测量。
全部回答
  • 1楼网友:罪歌
  • 2021-02-20 15:49
ups好像是不电焊机,而是不间断供电电缉发光菏叱孤癸酞含喀源。 1、首先他是干式的,按理讲磁密与电密相对而言都不高。但由于是不间断的供电,所以电流密度可以适当的加大一些。我建议电密在3-4.5a/mm2之间。磁密随硅钢片好坏而定,取1.6t 以下。 不知对不对?
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