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xrd薄膜法能够测定薄膜什么性质

答案:1  悬赏:50  手机版
解决时间 2021-03-20 07:46
  • 提问者网友:临风不自傲
  • 2021-03-19 23:34
xrd薄膜法能够测定薄膜什么性质
最佳答案
  • 五星知识达人网友:十鸦
  • 2021-03-20 01:08
不知道你所说的薄膜法指什么.
一般对于薄膜材料,XRD能够做:
    掠入射(GIXRD):    分析晶态薄膜物相,残余应力
    反射率测量(XRR):    对膜质量要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,表面界面的粗糙度
    掠入射小角散射(GISAXS):    分析薄膜的纳米结构.这个比较新.

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