磁控溅射分子泵满速一段时间后自动减速是什么问题
答案:2 悬赏:0 手机版
解决时间 2021-01-23 22:31
- 提问者网友：爱唱彩虹
- 2021-01-23 16:30
磁控溅射分子泵满速一段时间后自动减速是什么问题
最佳答案
- 五星知识达人网友：几近狂妄
- 2021-01-23 16:44
(1)我们的真空室有一点点的漏气，现在只能抽到2X10-2Pa，我想问一下，本...答：磁控溅射，磁场控制的二级溅射。 原理是将靶材周围的气体电离化，形成等离子体，在等离子体环境中溅射过程。属于气体放电范畴。 优质的膜层需要控制膜层的稳定性和均匀性，而体现在控制方面，则表现为：磁尝气尝电源。 1.磁场的稳定：靶芯的磁场...
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- 1楼网友：你可爱的野爹
- 2021-01-23 16:59
这下我知道了
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