知道薄膜厚度，用四探针测了电阻，怎么计算薄膜的电阻率？
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解决时间 2021-11-07 23:05
- 提问者网友：焚苦与心
- 2021-11-07 14:25
知道薄膜厚度，用四探针测了电阻，怎么计算薄膜的电阻率？
最佳答案
- 五星知识达人网友：低音帝王
- 2021-11-07 15:15
知道薄膜厚度t ，用四探针测了电阻（方块电阻）R，则薄膜的电阻率=R * t 。
由ρ=RS/L
得：R=p*L/S=p*L/(w*t) 其中S=w*t （w是薄膜截面的宽，单位与L相同即可；t 是薄膜的厚度，单位cm--应与电阻率单位中的长度单位相同）
当 L= w 时，有 R=p/t ，此时的电阻R 即薄膜的方块电阻，单位Ω/□。
由ρ=RS/L
得：R=p*L/S=p*L/(w*t) 其中S=w*t （w是薄膜截面的宽，单位与L相同即可；t 是薄膜的厚度，单位cm--应与电阻率单位中的长度单位相同）
当 L= w 时，有 R=p/t ，此时的电阻R 即薄膜的方块电阻，单位Ω/□。
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