CHF3是什么气体
答案:2 悬赏:0 手机版
解决时间 2021-12-23 07:23
- 提问者网友：树红树绿
- 2021-12-22 14:50
CHF3是什么气体
最佳答案
- 五星知识达人网友：笑迎怀羞
- 2021-12-22 15:57
CHF3 是三氟甲烷
全部回答
- 1楼网友：等灯
- 2021-12-22 17:02
干蚀刻基本上包括「离子轰击」(ion-bombardment)与「化学反应」(chemical reaction) 两部份蚀刻机制。偏「离子轰击」效应者使用氩气(argon)，加工出来之边缘侧向侵蚀现象极微。而偏「化学反应」效应者则采氟系或氯系气体(如四氟化碳cf4)，经激发出来的电浆，即带有氟或氯之离子团，可快速与芯片表面材质反应。
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