硅片中心厚度如何测量或测量哪个位置
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解决时间 2021-03-22 20:52
- 提问者网友：两耳就是菩提
- 2021-03-22 15:44
硅片中心厚度如何测量或测量哪个位置
最佳答案
- 五星知识达人网友：不如潦草
- 2021-03-22 16:40
若实验未开始，在蒸镀的时候，遮上一块硅片，根据探针测试法就可以知道二氧化硅薄膜厚度了。 如果已蒸镀，可用氢氟酸和氟化氨溶液将二氧化硅腐蚀，不一定要劈尖状，因为量一下腐蚀彻底的边缘硅片厚度，再与硅片上二氧化硅薄膜完整的区域的厚度，一比较，就可知道薄膜厚度。
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