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干式真空泵为什么要用氮气

答案:2  悬赏:50  手机版
解决时间 2021-02-01 08:28
  • 提问者网友:焚苦与心
  • 2021-01-31 08:13
干式真空泵为什么要用氮气
最佳答案
  • 五星知识达人网友:慢性怪人
  • 2021-01-31 08:21
气密,稀释制程气体,减轻腐蚀及制程附着.
全部回答
  • 1楼网友:琴狂剑也妄
  • 2021-01-31 09:07
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