请问紫外光刻机是在什么条件操作？

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解决时间 2021-11-09 21:28

提问者网友：王者佥
2021-11-09 15:56

请问紫外光刻机是在什么条件操作？

最佳答案

五星知识达人网友：低血压的长颈鹿
2021-11-09 16:04

随着电子业的飞速发展,对作为电子元器件基础的印制板的需求量及其加工精度的要求越来越高。紫外线光刻机是印制板制造工艺中的重要设备。传统光刻机的玻璃-迈拉晒架在生产过程中需要人工赶气,迈拉膜需要经常更换。由于冷却系统过于臃肿,使得其生产成本高、效率低,已不能满足PC B 生产的需要。在实验基础上设计了双玻璃晒架光刻机，改进了其主要组成部分,包括晒架系统、光路系统、冷却系统以及电气和控制系统的整体设计。
在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

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