为什么射频溅射可以制备绝缘溅射膜？
答案:1 悬赏:80 手机版
解决时间 2021-11-25 14:45
- 提问者网友：姑娘长的好罪过
- 2021-11-25 01:09
为什么射频溅射可以制备绝缘溅射膜？
最佳答案
- 五星知识达人网友：琴狂剑也妄
- 2021-11-25 02:23
一般磁控溅射方法制备绝缘材料的薄膜有两种方法：PVD（物理气象沉积）、CVD（化学气象沉积）。 物理气象沉积，用陶瓷靶（绝缘靶）溅射，缺点是溅射速率慢，溅射功率高，靶材容易破裂。 化学气象沉积，用活泼金属靶（Al），在溅射过程中充入适量。
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