如何在硅片上进行光刻
答案:2 悬赏:80 手机版
解决时间 2021-03-24 22:05
- 提问者网友：绫月
- 2021-03-24 05:42
如何在硅片上进行光刻
最佳答案
- 五星知识达人网友：七十二街
- 2021-03-24 05:54
硅片上光刻
硅片上涂光刻胶-烘焙-冷却-激光通过光罩照到胶上-目的是使胶变性-烘焙-冷却-显影液显影-清洗-烘焙-冷却 图形就复制到硅片上的光刻胶上.
然后刻蚀,把胶的图形传递到硅片上!
硅片上涂光刻胶-烘焙-冷却-激光通过光罩照到胶上-目的是使胶变性-烘焙-冷却-显影液显影-清洗-烘焙-冷却 图形就复制到硅片上的光刻胶上.
然后刻蚀,把胶的图形传递到硅片上!
全部回答
- 1楼网友：山河有幸埋战骨
- 2021-03-24 06:52
粘度大，流平性不好。 可能是匀胶后边缘的光刻胶有堆胶现象，如果采用的是接触式曝光，那么掩模板和晶片之间就会有间隙，造成曝光出现虚影，因此要
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