BOE刻蚀溶液配制几份氢氟酸
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解决时间 2021-01-20 15:30
- 提问者网友：溺爱和你
- 2021-01-19 16:17
BOE刻蚀溶液配制几份氢氟酸
最佳答案
- 五星知识达人网友：山有枢
- 2021-01-19 16:51
飞秒检测发现BOE（Buffered Oxide Etch）称为缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸（49%）与水或氟化铵与水混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（体积比）的成分混合而成。刻蚀速度约2nm每秒。HF为主要的蚀刻液，NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度，使之保持一定的蚀刻率。
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