分子层沉积是什么 有什么用
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解决时间 2021-04-01 10:19
- 提问者网友：溺爱和你
- 2021-03-31 20:07
分子层沉积是什么 有什么用
最佳答案
- 五星知识达人网友：白昼之月
- 2021-03-31 20:46
分子层沉积英文是Molecular layer depositon, 简称MLD.是用来沉积绝对単分子层有机聚合物（有机高分子）薄膜的一种方法，利用表面自限制化学反应原理，每一个循环只沉积一个单分子层，通过循环数来控制薄膜的厚度。 其原理为：通过将两种反应气体（或者蒸汽）以气体脉冲形式交替地引入反应器，依靠留在基底表面的吸附分子（如羟基或氨基）进行反应而生成薄膜。由于每次参与反应的反应物局限于化学吸附于基底表面的分子，这使得 MLD 具有自限制生长特征。 可参考北京伯英科技有限公司的相关文章。
可用于沉积聚酰亚胺，用于微电子行业，MEMS行业的封装，可耐高温，耐磨损。还可用于电动汽车的电池行业，用于耐高温层薄膜的沉积，有效保护电池。 据文献报道，MLD可用于沉积以下单分子薄膜 有机聚合物物薄膜： Polyimide聚酰亚胺（热解可得到碳膜），Polyurea聚脲，Polyamide（聚酰胺（尼龙66），Polyimide–amide聚酰亚胺-酰胺，Polyurethane聚氨酯，Polythiurea聚硫脲，Polyester聚酯，聚乙二醇（PEG）等。 有机无机杂化薄膜： Al、Ti、Zn、Fe 的有机-无机杂化膜… 目前，从各大搜索网站来看，欧美都还没有商业化的MLD设备，仅有的国产的商业化设...
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