镀膜时样品中间会不均匀什么原因

镀膜时样品中间会不均匀什么原因

途中主要表述是溅射过程中，物质的动向图。并没有磁控条件限制。
顶部是靶材/阴极；中间为辉光区域；底部是溅射基体。
靶材和辉光之间为电压降区域，给正离子提供足够能量的电场，正离子加速轰击到靶材上，使靶材的物质溅射出来，沉积到基体上（两侧的长线）；负离子、电子保持在辉光区，轰击气体原子。
辉光区放射出电子、离子、中性原子、光子等，这些组成等离子体（宇宙99%以上的组成物质为等离子体）
辉光和基体之间电压降很小。

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