8台深紫外固态激光源装备有什么用

8台深紫外固态激光源装备有什么用

陈创天：这一光源已经发现了很多重要的应用，并已经有了成功的范例。

　　1） 真空紫外激光超高能量分辨率光电子能谱仪：借助这台激光光电子能谱仪的超高分辨率，我们能够更仔细地了解固体的特性，这将大大促进人们对固体材料中各种奇异电子特性的了解。

　　2）推动193nm光刻技术的发展：193nm光刻技术是目前大规模集成电路制造业中的主流技术，在这一技术中，要求有两种光源：一种是照明光源，一种是高精度母版制作所需的相干光源。目前由于没有适合的全固态激光光源，因此多数使用电子束光刻技术，但效率低，成本高。如果能够获得100mW的193nm的全固态窄带宽相干光源，将有可能取代电子束用于集成电路母版制作。

　　3）化学动力学研究：深紫外全固态激光源由于每个光子能量高，线宽窄，从而将在分子的激发光分解、自由基反应，超激发态分子等方面开拓新的研究领域。这一光源比现有的同步辐射、原子灯深紫外光源在能量分辨率、光子流密度、偏振特性等方面有很大的优越性。

　　4）光电子发射显微镜:使用177．3nm的激光源，通过激发固态表面电子并使用磁场对电子路径的控制，并通过光电倍增管成像，将大大提高表面成像的分辨率和对各种图像的物理、化学内涵解释。

　　以上只是目前能够预见的几个重要应用实例，我们相信，随着全固态深紫外激光光源的发展和技术的成熟，将会有越来越多的应用被发现，从而使这一光源在科学研究和高技术领域发挥越来越大的作用。

深紫外全固态激光源指输出波长在200纳米以下深紫外频段的固体激光器，深紫外频段激光与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的 方向性和相干性。所以应用前景极为广阔。

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