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镀膜机扩散泵抽高真空,真空数值来回跳动,不稳定,炉体检漏没问题,有没有碰到过的大侠支个招,小弟拜

答案:1  悬赏:40  手机版
解决时间 2021-01-27 15:25
  • 提问者网友:書生途
  • 2021-01-26 21:26
镀膜机扩散泵抽高真空,真空数值来回跳动,不稳定,炉体检漏没问题,有没有碰到过的大侠支个招,小弟拜
最佳答案
  • 五星知识达人网友:上分大魔王
  • 2021-01-26 22:06
建议检查下真空规管,看规管是不是一闪一闪的或者是不是直接没亮,如果是换心规管
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