雷尼绍机床探针测量时为什么偏差10多条

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解决时间 2021-04-07 08:47

提问者网友：战皆罪
2021-04-06 21:42

雷尼绍机床探针测量时为什么偏差10多条

最佳答案

五星知识达人网友：琴狂剑也妄
2021-04-06 23:11

你做的薄膜每层膜厚多少?一层的样品都测不出来么?初始电流达到4.532μA是对样品厚度远小于二分之探针间距的薄膜样品的修正值，如果超过这个限制，这个修正值也就没有意义了。另外探针法测量电阻需要探针到样品边界的距离远大于探针间距，你做的样品几何尺寸有多大呢?你应该的做法:可以找一个标准薄膜来校正初始的4.532μA电流，如果始终无法到达这个电流，说明检测设备有故障，请先检修机器，再确定你做的样品几何尺寸是否合适。另外我对溶胶-凝胶法制备薄膜不是很了解，你做这么多层薄膜可能会产生很强的表面态，或者每层的掺杂程度不一样都会导致形成高低结，都会产生电容的整流效应，造成电流的变化，请从工艺水平上去分析。另外探针和样品接触后是否有一定的压力，样品是否清洁都可能导致示数的较大变化，也需要注意。如果还不能排除原因请换更先进的四探针设备或者使用扩展电阻测试系统。相关资料请参考杨德仁著半导体材料测试与分析。讲测试的文献还是不多的。

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1楼网友：大漠
2021-04-06 23:37

可以私聊我~

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