弱弱滴问一下在化学试剂中 C1、C2是什么东东啊

答案:3 悬赏:60 手机版

解决时间 2021-02-24 20:10

提问者网友：那叫心脏的地方装的都是你
2021-02-24 14:43

最佳答案

五星知识达人网友：纵马山川剑自提
2021-02-24 15:58

电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级。
UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准
EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺

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1楼网友：青尢
2021-02-24 18:24

呃,不可说不可说

2楼网友：千杯敬自由
2021-02-24 16:46

你好！应该是试剂的等级希望对你有所帮助，望采纳。

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