描述icp中等离子体是怎样产生和维持的
答案:1 悬赏:60 手机版
解决时间 2021-04-04 14:01
- 提问者网友：记得曾经
- 2021-04-03 15:32
描述icp中等离子体是怎样产生和维持的
最佳答案
- 五星知识达人网友：第幾種人
- 2021-04-03 16:35
低温的等离子体产生基本都是电子碰撞电离产生的，ICP主要是利用线圈通电流在放电腔是内产生涡旋电场，来加速背景电子，电子能量增加碰撞气体原子产生等离子体。维持等离子体你需要不断馈入气体工质。这种方式都H模式放电。还有一个E模式放电，就是线圈上高压电场直接加速电子击穿气体，击穿之后还会回到H模式放电。
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