什么叫物理气相沉积，有何优缺点？

答案:2 悬赏:20 手机版

解决时间 2021-02-26 22:56

提问者网友：半生酒醒
2021-02-26 05:37

什么叫物理气相沉积，有何优缺点？

最佳答案

五星知识达人网友：英雄的欲望
2021-02-26 07:12

参考答案: 物理气相沉积是在高真空容器中，Ti受热蒸发，蒸发出来的原子与通入工作室中的气体相遇（按比例），并被离子激活，在工件负偏压吸引下，以较大能量射向工件表面，形成TiC或TiN沉积层，层厚一般为1～3mm，TiN的沉积层表面硬度为HV2400左右。它与化学气相沉积的不同点在于温度，化学气相沉积温度高，沉积结合力强，但基体硬度降低，而物理气相沉积的温度低，不影响基体硬度。刀具经“沉积”处理后寿命提高3～10倍，缺点是离子的绕射性差，工件各处沉积层不均匀，设备投资费用高，维修难，生产效率较低。
试题难度：★★☆
参考解析：

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1楼网友：迟山
2021-02-26 07:49

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