生产四氣化硅的设备有哪些？

生产四氣化硅的设备有哪些？

生产四氣化硅的设备都有多个，但主要设备是合成炉（也称合成床）。合成炉分为固定炉和沸腾炉两类，固定炉和沸腾炉这两类合成炉各有优势，其固定炉的优势如下。① 构造简单，制造工期短，成本低。② 操作简单，容易掌握。③ 对原料的要求不严，特别是合成四氣化硅时，可以不采用价格高的硅粉为原料，而直接使用工业硅块生产，这样一来，合成的成本就会大大降低。由于固定炉在合成四氣化硅时有上述多项优势，所以合成四氣化硅通常都采用固定炉。沸腾炉的优势如下。① 生产能力大，特别是合成三氣氢硅时，每平方米反应器横截面每小时能生产2. 6〜6kg冷凝产品，而固定炉每升反应容积每小时只能生产10g左右。② 连续生产，生产过程中不会因加料或除渣而中断。③ 用于生产三氯氢硅时，纯度高，其产品中三氣氢硅含量在90%以上，而固定炉通常仅有75%左右。④ 用于生产三氣氢硅时，有利于采用催化反应，原料可以不采用硅铜合金，而用掺有铜粉或氣化亚铜粉的硅粉，因而成本低。由于沸腾炉在合成三氣氢硅时有上述多项优势，所以合成三諷氢硅通常都采用沸腾炉。固定炉常用于合成四铽化硅，在合成三氣氢硅中很少使用。固定炉又分立式炉和卧式炉两种。但常见的是立式炉，卧式炉很少见，其原因是由于立式炉具有装料和出渣（排污）方便，氯气流分布均匀，反应温度平稳，物料层起过滤作用等优点，所以应用广泛，卧式炉不具备上述优点，所以才少见。由于卧式炉少见，在此仅对立式炉做一简单介绍。其实立式炉也有多种。最初的立式炉是用不透明石英玻璃管制成的，结构非常简单。它是一个两端缩口、中部大肚的管状装置。该装置竖立放置，其下端接有气管，中段外部缠绕加热的电炉丝，内部装有块状工业硅，上端接出气管。工作时，电炉丝接通电源并将炉中的工业硅加热到反应温度；同时氣气从下端进人合成炉，与炽热的工业硅发生反应，生成气态的四氣化硅，然后顺上端的出气管出炉，再进人冷凝器变成液态的四氣化硅产品。

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