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紫外光负胶的显影液和清洗液的成分是什么

答案:2  悬赏:20  手机版
解决时间 2021-03-08 01:12
  • 提问者网友:愿为果
  • 2021-03-07 18:03
紫外光负胶的显影液和清洗液的成分是什么
最佳答案
  • 五星知识达人网友:封刀令
  • 2021-03-07 19:10
半导体工艺——光刻紫外负性光刻胶显影液:二甲苯.清洗液:乙酸丁脂或乙醇、三氯乙烯.显影中的常见问题:a、显影不完全(Incomplete Development).表面还残留有光刻胶.由显影液不足造成.b、显影不够(Under Development).显影的侧壁不垂直.由显影时间不足造成.c、过度显影(Over Development).靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解,形成台阶.由显影时间太长造成.
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  • 1楼网友:慢性怪人
  • 2021-03-07 20:10
我明天再问问老师,叫他解释下这个问题
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