mems装置为何大多选用硅材料制造
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解决时间 2021-04-06 01:09
- 提问者网友：浮克旳回音
- 2021-04-05 06:15
mems装置为何大多选用硅材料制造
最佳答案
- 五星知识达人网友：像个废品
- 2021-04-05 07:24
其中一个主要的原因是硅材料容易加工成各种形状，如可以使用KOH进行各项异性腐蚀加工MEMS结构，还可以使用ICP干法刻蚀成深宽比很高的立体结构，很难找到类似的材料。所以大多使用硅材料进行MEMS结构加工。
全部回答
- 1楼网友：未来江山和你
- 2021-04-05 08:19
主要是为了考虑与集成电路兼容。IC器件发展到今天，基于硅的加工制造技术相当成熟，所以采用硅材料制造MEMS装置，可以重复使用硅工艺的相关设备与实验参数，并能与集成电路很好的兼容，最大化降低制造成本。
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