氦质谱检漏仪的工作原理

答案:2 悬赏:70 手机版

解决时间 2021-11-13 05:59

提问者网友：谁的错
2021-11-12 20:25

氦质谱检漏仪的工作原理

最佳答案

五星知识达人网友：酒安江南
2021-11-12 21:08

参考资料：真空设计手册第三版

全部回答

1楼网友：神的生死簿
2021-11-12 21:35

检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。
在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。
质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。
楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪的原理和分析过程。
其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪，只是出于成本和灵敏度的考虑，更多的用的是四极杆质谱检漏仪。

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