请问单晶硅片清洗剂清洗时硅片中冒泡泡是什么原理？另外超声波清洗的原理是什么？

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解决时间 2021-04-17 16:18

提问者网友：寂寞撕碎了回忆
2021-04-17 08:57

最佳答案

五星知识达人网友：话散在刀尖上
2021-04-17 09:59

冒泡是超声波引起的气化空泡，不是光由清洗机引起的，清洗剂要水流有落差后才能不断产生泡沫，还有部分泡沫是硅和碱性清洗剂反应生成的氢气，超声是慢慢作用于硅片表面的，槽体内的水量会影响超声波电流大小，还有时间长一点超声作用也会明显点，硅片间缝隙越大超声效果也越好追问清洗过程中冒泡是应该的吗？不冒泡是不是清洗效果会不好啊？最近清洗出的硅片表面检验合格，可是部分硅片制绒后有白斑，怀疑是有机物残留，也不知道究竟是什么原因造成的？追答这个可能性种类很多，一般若是清洗后表面检查不出来就说明清洗没什么大问题，若是清洗剂不好应该是全部硅片制绒后都发白，看看你制绒发白比例，有可能是滤纸造成的，你把硅片放置时最外的亮片分开制绒看看效果会怎么样

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1楼网友：从此江山别
2021-04-17 10:57

部分硅片制绒后有白斑估计你是用了碱性清洗剂，白斑是清洗剂残留或者腐蚀所至，应该选择碳氢类清洗剂比较好，不会残留和腐蚀性

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