什么是薄膜中晶粒择优取向，如何用XRD测试出来

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解决时间 2021-02-18 09:18

提问者网友：流星是天使的眼泪
2021-02-17 23:54

最佳答案

五星知识达人网友：街头电车
2021-02-18 00:11

一般情况下，形成的晶粒晶轴在各个方向上分布的机会是均等的，在做XRD时，不同的晶面间距形成不同的衍射峰，因为晶面上原子分布、不同原子衍射能力存在差异等原因，各个衍射峰强度存在差异。
如果存在择优取向，作出来的曲线和标准曲线有差异，某些峰会变强，某些峰会变弱。
不一定是最高峰所对应的晶面。

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1楼网友：舍身薄凉客
2021-02-18 01:45

晶粒的择优取向是针对多晶薄膜来说的。衍射峰的强度反映了不同取向的晶粒在薄膜中的比重。强度越高的，通常表明这个取向的晶粒占大多数，当然也要结合粉末衍射的强度比来看就更准确了。关于测试，通常用xrd theta/2theta 联动扫描，对于外延薄膜，先找到衬底的衍射峰，然后依次优化psi， phi和2 theta角。之后做大范围的扫描，通常就可以找到则优取向了。但有时外延层和衬底之间会有不同的psi和phi角，这个时候就需要再优化外延层的psi 和phi，然后再扫描。

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