什么是KOOi效应
答案:1 悬赏:10 手机版
解决时间 2021-02-01 15:32
- 提问者网友：箛茗
- 2021-02-01 08:24
什么是KOOi效应
最佳答案
- 五星知识达人网友：迟山
- 2021-02-01 09:07
这是做LOCOS（硅的局部氧化工艺）的一个问题，
又称白带效应。
用氮化硅作阻挡层生长氧化层，在这种情况下，氮化硅边缘下面的硅表面会形成一层热生长的氮氧化物，氮化硅与高温的湿氧气氛反应生成氨气，氨气扩散到硅/二氧化硅界面并在那里分解，从而导致白带的形成，这姓氮化物在硅片的表面看起来像是一条绕在有源区边缘的白带，这一缺陷导致有源区内后续生长点的热氧化层（如栅氧）的击穿电压降低，
不知道怎么读，我们都直接叫白带效应
现在有STI（shadow trench isolation）浅槽隔离技术，可以避免这个问题，
希望可以帮助你
又称白带效应。
用氮化硅作阻挡层生长氧化层，在这种情况下，氮化硅边缘下面的硅表面会形成一层热生长的氮氧化物，氮化硅与高温的湿氧气氛反应生成氨气，氨气扩散到硅/二氧化硅界面并在那里分解，从而导致白带的形成，这姓氮化物在硅片的表面看起来像是一条绕在有源区边缘的白带，这一缺陷导致有源区内后续生长点的热氧化层（如栅氧）的击穿电压降低，
不知道怎么读，我们都直接叫白带效应
现在有STI（shadow trench isolation）浅槽隔离技术，可以避免这个问题，
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