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【刻蚀】什么是干法刻蚀?干法有几种刻蚀方法?

答案:2  悬赏:50  手机版
解决时间 2021-02-14 10:39
  • 提问者网友:献世佛
  • 2021-02-13 21:16
【刻蚀】什么是干法刻蚀?干法有几种刻蚀方法?
最佳答案
  • 五星知识达人网友:街头电车
  • 2021-02-13 22:43
用等离子体对薄膜线条进行刻蚀的一种新技术。分为等离子体刻蚀、反应离子刻蚀RIE、磁增强反应离子刻蚀、高密度等离子刻蚀......
全部回答
  • 1楼网友:独行浪子会拥风
  • 2021-02-14 00:20
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