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单晶硅中电阻率均匀性由哪些因素决定

答案:1  悬赏:10  手机版
解决时间 2021-02-07 17:06
  • 提问者网友:我没有何以琛的痴心不悔
  • 2021-02-07 06:46
单晶硅中电阻率均匀性由哪些因素决定
最佳答案
  • 五星知识达人网友:鱼芗
  • 2021-02-07 07:15



你好
P型单晶硅部电阻率虚高由于氧施主形引起℃左右硅间隙氧(显电性)转化氧施主(带负电)影响单晶硅电阻率使P型硅晶电阻率虚高甚至反型N型硅棒则现电阻率比实际值更低现象
电阻率真实值通电阻率虚高硅片℃温度热处理30min迅速冷却用砂纸磨表面氧化层测试其电阻率其实复杂 硬城面看看没型号 能面找技术资料
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