光刻工艺过程有哪些呢？
答案:1 悬赏:80 手机版
解决时间 2021-10-21 18:49
- 提问者网友：爱了却不能说
- 2021-10-20 23:06
光刻工艺过程有哪些呢？
最佳答案
- 五星知识达人网友：雾月
- 2021-10-21 00:07
硬烘10、硬烘（HardBaking）方法：热板，100～130C（略高于玻璃化温度Tg），1～2分钟
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